质谱仪
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催化、吸附分析仪
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· 储氢研究分析仪
质子传递反应质谱仪
· PTR-MS



残余气体分析仪

HAL RGA 四极质谱仪
HMT100   高压残余气体分析仪
HPR30     真空过程气体分析仪
HPR80     活泼性、 腐蚀性气体分析仪

三级过滤四极质谱仪

HAL 3F   三级过滤四极质谱仪
3F/PIC    快速反应气体分析质谱
3F/EPIC 自由基分析质谱
Hiden     四极质谱仪组件

过程控制系统

XBS MBE 沉积速率监控/控制系统
IMP 等离子体刻蚀终点检测仪

在线气体分析质谱仪

薄膜进样质谱仪(MIMS)
全自动定量分析在线质谱仪
QIC20  小型在线气体分析质谱仪
Hydra  多路气体、蒸气分析仪

研究级气体分析质谱

定量气体分析质谱仪
SPACI-MS空间分辨质谱仪
HPR20  精密气体分析系统 
HPR40  溶解气分析系统
HPR50  金刚石CVD气体分析仪
HPR60  分子束取样质谱仪
HPR70  批量进样气体分析系统
HPR90  密封气体分析仪
QIC100 常压气体分析系统

气体取样阀

Proteus 多路进气阀
8路进气转换阀

表面科学分析仪

EQS 二次离子质谱探针
二次离子质谱工作站
3F/IDP 离子脱附分析质谱
IG20 离子枪
IFG200 FAB/离子枪

等离子体表征分析仪

EQP 等离子体质量和能量分析仪
PSM 等离子体质量和能量分析仪
ESP 高级朗缪尔探针
HPR100 ICP-等离子体工作站

智能重量分析仪

IGA 智能重量分析仪
IGAsorp 水分吸附系统
IGA 001 单路气体吸附系统
IGA 002  蒸气吸附系统

催化剂表征系统

反应环境控制系统
CATLAB 催化微反应器–质谱仪
高压自动突破装置

储氢研究分析仪

高压储氢研究分析仪

PTR-MS

PTR+SRI-MS
PTR-MS技术
经济型PTR-MS
标准型PTR-MS








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