服务于半导体工业的四极杆质谱仪

 

   半导体制作包括真空、气体和等离子体工艺。为了达到先进的生产工艺和增加收益,这就需要高性能的工艺开发和工艺监测。

应用:

   残余气体分析
   终点检测
   等离子体表征
   表面科学
   MBE沉积速率监测和控制


北京英格海德分析技术有限公司© 版权所有 银玄羽设计制作