纳米技术 Nanotechnology

   纳米技术是在原子、分子或大分子水平上进行研究而发展起来的技术。其研究对象(原子、分子或大分子)具有如下特性:首先,其长度规格大约在1~100纳米的范围内;其次,由于它们的微小和/或中等尺寸,以及它们对原子尺度的控制或操纵的能力,使其形成了带有新的特性和功能的,具有创造性和实用性结构、装置和系统。

  在纳米技术应用方面,Hiden的四极杆质谱仪提供了真空过程的气体分析、等离子体诊断和表面分析技术。包括纳米级薄膜结构的SIMS深度分析,刻蚀工艺的等离子体表征,在UHV扫描隧道显微镜中的真空诊断/温度程序脱附分析等。
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