等离子体表征
Plasma characterization


   电子的等离子体在很多工业工艺中都有应用,新的应用正在快速发展。在微电子工业中,更高的产量和减小设备体积的需求意味着对工艺的重现能力和理解能力是至关重要的。
  HIDEN公司的等离子探针可以测量一些关键的等离子体参数,提供详细的与等离子体反应化学有关的信息。
  HPR60分子束取样质谱仪更可以满足对常压下等离子体的研究。

产品
   EQP 等离子体质量/能量分析仪
   ESPION 高级静电 Langmuir 探针
   HPR30 等离子体在线分析仪
   HPR60分子束取样质谱仪
   HPR100等离子体工作站
   等离子体应用介绍


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