真空工艺
Vacuum Processing


  

  真空工艺需要对气体和污染物有严格的控制,以保持和提高产品质量和产量。

  英国 Hiden公司的HPR30系统是一个差动泵残余气体分析仪。在真空工艺中,其凹角取样孔可以从10E -4 mbar 到 0.5mbar压力范围内对气体组分变化进行高分辨率和快速的测量。如在沉积镀膜中可对过程中的气体组份、含量进行在线监测。

产品
   RGA四极杆质谱仪
   HMT高压残余气体分析仪
   3F三级过滤四极质谱仪
   HPR–30 真空过程气体分析仪
   四极质谱仪组件
 




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