残余气体分析
Residual Gas Analysis


  

   在真空室和真空工艺中,残余气体分析是一个常规目的。 Hiden 的 RC 和 LC 系列四极质谱仪提供了常规的、快速的、宽动态范围的残余气体分析,及测量组分的分压。这些是评价真空质量和工艺所必需的。

应用:
   真空室泄漏检测
   真空质量测量和监测
   残余气体分析
   真空过程气体分析/监测
   除气研究
   烘烤循环 /真空泵性能下降监测


   产品
      RGA四极杆质谱仪
      HMT高压残余气体分析仪
      3F三级过滤四极质谱仪
      HPR–30 真空过程气体分析仪
      四极质谱仪组件

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