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EQP 等离子体质量和能量分析仪


    Hiden EQP是一台结合质量和能量分析的仪器(Mass and Energy Analyser for Plasma Diagnostics),用于分析等离子过程中阴、阳离子、中性粒子以及自由基。


应用:

    · 蚀刻 / 沉积作用研究
    · 离子植入 / 激光烧蚀
    · 残余气体分析 / 泄漏检测
    · 等离子体电极耦合,即在操作中遵从电极设定条件
    · 通过视口、接地电极和驱动电极进行分析


特点:

    · 软件控制的离子汲取光学系统,以使等离子体扰动最小
    · 45°静电扇区分析器,扫描能量增量 0.05 eV / 0.25eV FWHM
    · 所有能量范围内,离子行程的最小扰动,及恒定离子传输
    · 带差式泵的三级过滤四极杆,质量数范围至2500amu
    · 高灵敏度 / 稳定的脉冲离子计数检测器,有7个数量级的动态范围
    · 可调谐的离子源,用于电子附着选件的表观电势质谱分析
    · Penning规和互锁装置可提供过压保护
    · 信号选通分辨率1μs,用于研究脉冲等离子体,
         或能量、质量分布随时间的变化
    · 1000eV 选配, 漂浮电压可选至10keV, Faraday 杯用于高密度等离子体
    · Mu-Metal, Radio-metal 屏蔽可选,高压操作可选
    · 通过RS232、RS485或Ethernet LAN,控制软件MASsoft










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