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ESP 高级朗缪尔探针


    ESPion高级朗缪尔探针(Advanced Langmuir Probes for Electrical Plasma Characterisation)可快速、可靠、精确地进行等离子体诊断,是最先进可靠的 Langmuir 探针。

应用:

    · 蚀刻/沉积/ 清洁等离子体
    · 脉冲等离子体操作
    · 离子密度 Ni & Гi
    · 电子密度 Ne
    · 电子温度 Te
    · 电子能量分布函数 EEDF
    · 等离子体电位 VP
    · Debye 长度
    · 悬浮电位 VF

特点:

    · 获得数据速度15scans/s,通过D-O-E-界面可以自动/半自动/手动分析
    · Hiden在被动射频补偿方面处于领先地位,在所有的商业化探针中
         ESPion具有最高的屏蔽阻抗(4.25Mohm at 13.56 MHz cf. 100kohm) 
    · 参考探针补偿用于抵制较低频率影响,例如等离子体电位漂移(如,反应
         室内腔阳极氧化所致) 或噪音(如,供电源引起)
    · 高温等离子体操作时的气体制冷多感应器链,使用者可调谐至其他频率  
    · ESPion 是所有商业化探针中最快速的脉冲等离子体探针,ESPsoft 包括
         所有必需的标准脉冲选通电路
    · 300、600、915mm 自动线性驱动器可选,互锁隔离阀, 90°探针,
         组合式线性-旋转驱动器可选
    · 自清洗循环,防止探针尖端污染
    · 经由RS232、RS485、Ethernet LAN 和 ESPsoft软件控制

 










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