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HPR100 ICP-等离子体工作站


    Hiden HPR 100 ICP等离子体工作站(ICP plasma workstation with EQP ion mass / energy analyser),完整的RF-ICP 反应器/ 等离子体分析系统,可研究全部的等离子体过程,对射频等离子体过程中的所有种类进行组合式的质量/能量分析。

应用:

    · 等离子体/ 反应性离子蚀刻研究
    · CVD / PVD / MOCVD
    · 表面修饰
    · 真空/等离子体过程
    · 等离子体清洁 / 杀菌
    · 薄膜制造/修改
    · 合成物制造/修饰

特点:
 
    · 圆柱形石英腔,直径100mm
    · 4 转动方向的铜感应卷,及相应线圈冷却设备和100mm线圈调节器。
    · 13.56MHz RF 发生器, 200W 电源
    · RF防护(440 x 340 x 340 mm).
    · 空气冷却,手动或自动双路流量控制
    · 一对涡轮分子泵管路以进行差动操作
    · 电容压力计,室压显示
    · Hiden EQP 500 等离子体分析仪,带有 100mm Z驱动
    · 质量/能量分析仪,可分析阴阳离子,中性粒子和自由基团
    · MASsoft软件操作










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