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EQS 二次离子质谱探针


    EQS 是差式泵式二次离子质谱(SIMS-Secondary Ion Mass Spectrometer ‘Bolt-On’ probe),可分析来自固体样品的二次阴、阳离子和中性粒子。采用最新技术的SIMS 探针,便于连结到现有的UHV表面科学研究反应室。

应用:

    · 静态 /动态SIMS
    · 一般目的的表面分析
    · 整体的前端离子源,便于RGA和 SNMS
    · 兼容的离子枪/ FAB 枪
    · 成分/污染物分析
    · 深度分析
    · 泄漏检测
    · 与Hiden SIMS 工作站兼容


特点:

    · 高灵敏度脉冲离子计数检测器,7个数量级的动态范围
    · SIMS 成像,分辨率在微米以下
    · 光栅控制,增强深度分析能力
    · 45°静电扇形分析器, 扫描能量增量 0.05 eV/ 0.25eV FWHM.
    · 所有能量范围内,离子行程的最小扰动,及恒定离子传输
    · 差式泵3级过滤四极杆,质量数范围至2500amu
    · 灵敏度高 / 稳定的脉冲离子计数检测器
    · Penning规和互锁装置可提供过压保护
    · 通过RS232、RS485或Ethernet LAN,软件 MASsoft控制

 










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