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HPR50  金刚石CVD气体分析仪


      HPR50金刚石CVD气体分析仪(CVD Diamond Process Analyser)是专业、定制的气体分析系统,监测金刚石生长过程,分析金刚石生长过程中产生的组分或现存的组分。

应用:

    · CVD
    · PECVD
    · 过程控制/ 在线实时监测
    · 污染物研究
    · 副产物分析,便于改良再现性、及产物质量


特点:

    · 极快速响应的喷射离析器进口,便于分子束取样
    · 灵敏度高(至5 ppb), 质量数至2500 amu
    · 加热的惰性进口,便于活泼性介质、产物评价
    · 液氮低温板,可使真空最优化和图谱干扰的最小化
    · Penning表和互锁装置可提供过压保护
    · 20~400 Torr 取样压力操作
    · 稳定性好(24h之上,峰高变化小于0.5% )
    · 通过RS232、RS485或Ethernet LAN,软件MASsoft控制
    · 软离子化技术,分析复杂有机物,表观MS研究










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