Hiden IMP(Ion Milling Probe–End Point Detector)自带差式泵,坚固的二次离子质谱仪,适于分析离子蚀刻过程中的二次离子和中性粒子。独有的专业检测终点仪器,用于离子蚀刻控制及过程质量最优化监测。
应用:
· 终点分析 · 靶的纯度鉴定 · 质量控制/ SPC. · 残余气体分析 · 泄漏监测
特点:
· 高灵敏度的 SIMS / MS,带脉冲离子计数检测器 · 三级过滤四极杆,标准配置质量数为300amu · 差式泵歧管,经连接法兰,接到过程室 · 离子光学器件,带能量分析器和内置离子源 · Penning规和互锁装置,以提供过压保护 · 数据系统与过程控制工具整合 · 稳定性(24h以上,峰高变化小于 ±0.5%) · 通过 RS232、RS485或以太网, 软件MASsoft控制 · 程控DDE, 平行数字式I/O,RS232通讯
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