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IMP 等离子体刻蚀终点检测仪


         Hiden IMP(Ion Milling Probe–End Point Detector)自带差式泵,坚固的二次离子质谱仪,适于分析离子蚀刻过程中的二次离子和中性粒子。独有的专业检测终点仪器,用于离子蚀刻控制及过程质量最优化监测。

应用:

    · 终点分析
    · 靶的纯度鉴定
    · 质量控制/ SPC.
    · 残余气体分析
    · 泄漏监测


特点:

    · 高灵敏度的 SIMS / MS,带脉冲离子计数检测器
    · 三级过滤四极杆,标准配置质量数为300amu
    · 差式泵歧管,经连接法兰,接到过程室
    · 离子光学器件,带能量分析器和内置离子源
    · Penning规和互锁装置,以提供过压保护
    · 数据系统与过程控制工具整合
    · 稳定性(24h以上,峰高变化小于 ±0.5%)
    · 通过 RS232、RS485或以太网, 软件MASsoft控制
    · 程控DDE, 平行数字式I/O,RS232通讯










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