Hiden IMP(Ion Milling Probe–End Point Detector)自带差式泵，坚固的二次离子质谱仪，适于分析离子蚀刻过程中的二次离子和中性粒子。独有的专业检测终点仪器，用于离子蚀刻控制及过程质量最优化监测。 应用：     · 终点分析     · 靶的纯度鉴定     · 质量控制/ SPC.     · 残余气体分析     · 泄漏监测 特点：     · 高灵敏度的 SIMS / MS，带脉冲离子计数检测器     · 三级过滤四极杆，标准配置质量数为300amu     · 差式泵歧管，经连接法兰，接到过程室     · 离子光学器件，带能量分析器和内置离子源     · Penning规和互锁装置，以提供过压保护     · 数据系统与过程控制工具整合     · 稳定性(24h以上，峰高变化小于 ±0.5%)     · 通过 RS232、RS485或以太网， 软件MASsoft控制     · 程控DDE, 平行数字式I/O，RS232通讯