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3F/EPIC 自由基分析质谱


       EPIC/3F 三级过滤四极质谱(EPIC Systems with Pulse Ion Counting and Pole Bias Control)用于高精密科学分析、过程研究,以及中性粒子、自由基、离子的UHV 分析。

应用:

    · 中性粒子、自由基,正、负离子分析
    · 电子附着研究
    · 表面科学,分子束研究
    · 超高真空程序升温脱附(UHV-TPD)  
    · 高性能残余气体分析
    · 脱附、除气作用研究
    · 容器、过程气体污染物分析



特点:

    · 灵敏度高,检测范围从100% 至 5ppb.
    · 质量数至 2500 amu, 6、9、12 mm 直径的四极杆可选.
    · 加强的长期稳定性(24h以上,峰高变化小于±0.5% )
    · 通过 ±100 V(1000 eV 可选)中轴电势扫描可知离子能量分布
    · 离子源控制,以实现软离子化及表观电势质谱
    · 灵敏度增强利于质量数较大的离子的传输;自动质量数范围列表
    · 脉冲离子计数器,连续7个数量级动态范围,Faraday 选项为5x1010
    · 一级过滤处增加射频,增强抗污染物能力
    · 当分析能量(或质量)分布变化与时间的关系,或进行TOF研究时,
       信号选通分辨率为 1µs 
    · 操作升温脱附时,温度亦可同步显示
    · 标配 UHV 罩, 液氮冷却罩可选
    · 软件 MASsoft 控制.
    · 可升级至等离子体 / SIMS 配置










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