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HMT100   高压残余气体分析仪


         HMT 100-RC 高压残余气体分析仪(High Pressure Residual Gas Analyser)配备了精密的四极质谱仪独特的双重模式RGA系统,检测已有的或生产过程中形成的气体。针对真空诊断以及过程监测

应用:

    · 残余气体或泄漏检测
    · 实质泄漏或脱附分析
    · 除气研究
    · 烘烤周期
    · 泵效能
    · 腔室/过程气体污染物

特点:

    · HMT型适用于高压4x10-3 Torr操作(最小压力4x10-8 Torr)
    · 在P < 10-4 Torr时具有高灵敏度的RGA操作模式,最小压力1x10-11 Torr
    · 最大质量数100amu,软件操作。
    · 稳定性好(24h之上,高度变化小于±1% )
    · MASsoft软件控制,或由局域网进行多个系统控制
    · 快速显示柱状图、趋势分析和信号峰
    · 混合模式扫描,多个窗口显示信息,例如趋势、柱状图和信号峰等
    · 同步显示数据图,列表
    · 同步背景扣除,自动质量数列表
    · 数据输出为ASCII格式,至windows设备
    · 即时动态数据交换至其他DDE兼容的windows软件,例如 Excel等










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