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HPR80     活泼性、 腐蚀性气体分析仪


    HPR-80 (Quantitative Gas Analyser for Reactive/Corrosive Species)是专为活泼性、腐蚀性气体分析和半导体、真空过程研究而设计的仪器,快速、定量分析活泼性、腐蚀性气体混合物。

应用:

    · 等离子体/反应性离子蚀刻研究
    · CVD / PVD / MOCVD
    · 半导体晶片加工研究
    · 真空、等离子体过程
    · 活性物质定量分析
    · HF,HCl,HBr,CFC 研究

特点:

    · 加热的电抛光波纹管,快速偶合连结器
    · 可清除的,带粘性流QIC校正的进样口用于定量分析
    · 高灵敏度至 5 ppb, 质量数可选至 2500 amu
    · 进样压力从 1 mtorr 至大气压
    · 电容压力计,压力检测可不受分析物影响
    · 稳定性好 (24h之上,小于峰高±0.5% )
    · 软件 MASsoft 控制
    · 矩阵反演,归一化及单峰参考










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