等离子体诊断

ESPion高级朗缪尔探针（Advanced Langmuir Probes for Electrical Plasma Characterisation）可快速、可靠、准确地进行等离子体诊断，是先进可靠的Langmuir探针。

·Hiden在被动射频补偿方面处于较高地位，在所有的商业化探针中 ESPion具有高的屏蔽阻抗(4.25Mohm at 13.56 MHz cf. 100kohm) 

·参考探针补偿用于抵制较低频率影响，例如等离子体电位漂移(如，反应室内腔阳极氧化所致) 或噪音(如，供电源引起)。

·高温等离子体操作时的气体制冷多感应器链，使用者可调谐至其他频率。

·获得数据速度：15scans/s

·通过D-O-E-界面可以自动/半自动/手动分析

·300、600、915mm 自动线性驱动器可选，互锁隔离阀

·90°探针，组合式线性－旋转驱动器可选

·ESPion 是所有商业化探针中快速的脉冲等离子体探针

·ESPsoft 包括所有必需的标准脉冲选通电路

·自清洗循环，防止探针污染

·等离子体诊断经由RS232、RS485、Ethernet LAN 和 ESPsoft软件控制