四极质谱仪用于监测真空系统,准确地辨别常规的残余气体,便于及时检测真空问题与快速解除故障。这台全内置的仪器可容易地连接任何真空室,内置程序和TCP/IP接口,用于控制ToolCheck和运行于系统控制器的标准网页浏览器查阅结果,无需外接计算机。 简单的指令组易于写入用户特定的码,将ToolCheck集成于您的系统控制器。
四极质谱仪中的粒子追踪功能:
在仿真的下一步骤中,我们可以计算出通过过滤器的离子的运动轨迹。离子运动遵循牛顿定律。在交流电场的一个射频周期中,本教程中的离子自仿真开始时就按照均匀的间隔被释放。在仿真过程中,粒子在 0 秒到 0.25 微秒的时间间隔内被释放了 11 次。由于交流电场的频率为4 兆赫,所以在其释放结束时正好为一个完整的射频周期。
通过准确计算离子轨迹及边缘场的影响,我们便可以求解出离子传递率。在这种情况下,离子传递率非常高,达到了较高。这种情况的发生是因为我们在 a-q 曲线上选择了一个非常稳定的工作点。这里的“a”和“q”指代 Mathieu 方程中的系数,可用于计算四极质谱过滤器中的离子运动的近似解。在我们的研究中,离子会在四极质谱过滤器中停留约 140 个射频周期。